- 中文
- English
新闻资讯
WilliamHill中文官方网站公司自主研制的海内首台12英寸PEALD装备通过客户验收
2018-09-30
6513
2018年9月尾，，，，，，，，由沈阳WilliamHill中文官方网站浚浚浚浚浚�？？萍加邢薰咀灾餮兄频�12英寸原子层沉积（Atomic Layer Deposition，，，，，，，，ALD）装备通过了客户的验收。。。。。。。
ALD装备是集成电路制备历程中要害的薄膜沉积装备，，，，，，，，被视为先进半导体工艺手艺生长的要害环节之一。。。。。。。WilliamHill中文官方网站公司基于已通过生产验证的高产能PECVD装备平台，，，，，，，，乐成研制了海内首台量产型12英寸ALD装备，，，，，，，，并迅速推向市场，，，，，，，，可应用于28nm以上极大规模集成电路，，，，，，，，OLED及先进封装（TSV）领域，，，，，，，，投入先进生产线，，，，，，，，用于沉积SiO2，，，，，，，，SiNx等绝缘薄膜。。。。。。。该装备已乐成进入试生产线审核验证，，，，，，，，历时3个多月，，，，，，，，通过了客户的审核验收，，，，，，，，装备各项性能指标均知足要求，，，，，，，，且抵达或凌驾了国际同类产品的先进水平，，，，，，，，这是我国在实现半导体装备国产化历程中的又一重大突破。。。。。。。
